结果真空渗碳为真空渗碳一淬火工艺曲线。在真空中加热到渗碳温度并保温使表面净化、附近活化之后，通入稀薄渗碳富化气(见控制气氛热处理)，在大约1330Pa(10T0rr)负压下进行渗入，然后停气(降压)进行扩散。渗碳后的精密钢管淬火采用一次淬火法，即先停电，通氮冷却工件至临界点A，、附近以下，使内部发生相变，再停气、附近开泵，升温到Ac1，～Accm之间。淬冷方法可采用气冷或油冷。后者为奥氏体化后移入前室，充氮至常压，入油。真空渗碳的温度一般高于普通气体渗碳，常采用920～1040℃渗入和扩散可按所示分两阶段，也可用脉冲式通气、附近停气，多段式的渗一扩相间，效果更好。由于温度高，尤其表面洁净、附近有活性，真空渗碳层形成速度比普通气体、附近液体和固体渗碳快，如要求渗层为1mm时，在927℃只需5h，而1033℃仅需1h。真空退火优质弹簧钢、附近工具钢、附近精密钢管的丝材，不锈钢制品及钛合金材，作光亮退火均可采用真空处理。退火温度愈低，则要求真空度愈高。为防止铬的蒸发及加速热传导，一般采用载气加热(保温)法，并注意对不锈钢和钛合金不宜用氮而应采用氩气。
精密钢管中元素对高温回火脆性的作用分成：(1)引发精密光亮管的高温回火脆性的杂质元素如磷、本地锡、本地锑等。(2)以不同形式、本地不同程度促进或减缓高温回火脆性的合金元素。有铬、本地锰、本地镍、本地硅等起促进作用，而钼、本地钨、本地钛等起延缓作用。碳也起着促进作用。一般碳素精密光亮管对高温回火脆性不。敏感，含有铬、本地锰、本地镍、本地硅的二元或多元合金钢则很敏感，其敏感程度依合金元素种类和含量而不同。回火精密光亮管的原始组织对钢的高温回火脆性的敏感程度有显著差别。马氏体高温回火组织对高温回火脆性敏感程度 ，贝氏体高温回火组织次之，珠光体组织小。精密光亮管的高温回火脆性的本质，普遍认为是磷、本地锡、本地锑、本地砷等杂质元素在原奥氏体晶界偏聚，导致晶界脆化的结果。而锰、本地镍、本地铬等合金元素与上述杂质元素在晶界发生共偏聚，促进杂质元素的富集而加剧脆化。而钼则相反，与磷等杂质元素有强的相互作用，可使在晶内产生沉淀相并阻碍磷的晶界偏聚，可减轻高温回火脆性稀土元素也有与钼类似的作用。钛更有效地促进磷等杂质元素在晶内沉淀，从而减弱杂质元素的晶界偏聚减缓了高温回火脆性。
